MARC

 008000107s2001        ULKa    a                          ENG
■022    ▼a12259438
■245    ▼aEffect  of  In-Situ  Plasma  Cleaning  On  the  Crystalline  Quality  of  silicon  Homoepitaxial  Films▼d공저  Kwang-sik  Kim,Hyoun-woo  Kim
■260    ▼a서울▼b대한금속.재료학회▼c2001.
■300    ▼app.  637-642
■653    ▼aEFFECT▼aINSITU▼aPLASMA▼aCLEANING▼aCRYSTALLINE▼aQUALITY▼aSILICON▼aHOMOEPITAXIAL▼aFILMS
■700    ▼aKwang-sik  Kim,Hyoun-woo  Kim
■773    ▼tMetals  and  Materials▼gVOL.7  NO.6  (2001  DECEMBER)▼d2001,  12
■SIS    ▼aS009189▼b60013551▼h8▼s2

미리보기

내보내기

chatGPT토론

Ai 추천 관련 도서