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 기사

ISSN  

12264881

서명/저자  

실리콘 웨이퍼 상에 제작된 미소 유로에서의 유동특성 / 김형우 원찬식 공저

발행사항  

서울 : 대한기계학회, 2001.

형태사항  

pp. 1844-1852

키워드  

실리콘 웨이퍼 제작 미소 유로 유동 특성

기타저자  

김형우 원찬식

기본자료저록  

대한기계학회논문집B : 제25권 제12호 (통권 제195호)(2001년 12월) 2001, 12

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Control Number  

kjul:60017462