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Pattern Density and Pitch Effects on Chemical-Mechanical Polishing
Pattern Density and Pitch Effects on Chemical-Mechanical Polishing / 공저 Young Bae Park,I...
Pattern Density and Pitch Effects on Chemical-Mechanical Polishing

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12259438
서명/저자  
Pattern Density and Pitch Effects on Chemical-Mechanical Polishing / 공저 Young Bae Park,Il Young Yoo
발행사항  
서울 : 대한금속.재료학회, 2001.
형태사항  
pp. 403-411
키워드  
PATTERN DENSITY PITCH EFFECTS CHEMICALMECHANICAL POLISHING
기타저자  
Young Bae Park,Il Young Yoo
기본자료저록  
Metals and Materials : VOL.7 NO.4 (2001 AUGUST) 2001, 08
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60017440

MARC

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