MARC

 008000104s2000        ULKa    a                          ENG
■022    ▼a12259438
■245    ▼aDeposition  Characteristics  of  Low  Dielectric  Constant  SiOF  Films  Prepared  by  ECR  PECVD▼d공저  Kyung-Mun  Byun,Won-Jong  Lee
■260    ▼a서울▼b대한금속.재료학회▼c2000.
■300    ▼app.  155-160
■653    ▼aDEPOSITION▼aCHARACTERISTICS▼aDIELECTRIC▼aCONSTANT▼aSIOF▼aFILMS▼aPREPARED▼aECR▼aPECVD
■700    ▼aKyung-Mun  Byun,Won-Jong  Lee
■773    ▼tMetals  and  Materials▼gVOL.6  NO.2  (2000  APRIL)▼d2000,  04
■SIS    ▼aS009179▼b60013551▼h8▼s2

미리보기

내보내기

chatGPT토론

Ai 추천 관련 도서