서브메뉴
검색
고집적회로제조에있어서의 Pt전극의 식각기술동향
고집적회로제조에있어서의 Pt전극의 식각기술동향
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12251550
- 서명/저자
- 고집적회로제조에있어서의 Pt전극의 식각기술동향 / 김현우 주병선 남병윤 강창진 문주태 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 33-39
- 기타저자
- 김현우 주병선 남병윤 강창진 문주태
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60016987
MARC
008030725s2001 ULKa a KOR■022 ▼a12251550
■245 ▼a고집적회로제조에있어서의 Pt전극의 식각기술동향▼d김현우 주병선 남병윤 강창진 문주태 공저
■260 ▼a서울▼b대한금속.재료학회▼c2001.
■300 ▼app. 33-39
■653 ▼a고집▼aPT전극의▼a식각
■700 ▼a김현우 주병선 남병윤 강창진 문주태
■773 ▼t재료마당▼gVol.14 No.6 2001▼d2001, 10
■SIS ▼aS009164▼b60013478▼h8▼s2
