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차세대 초고집적 DRAM 및 FeRAM용 고유전율박막 캐퍼시터의 하부전극 및 Node 구조개발
차세대 초고집적 DRAM 및 FeRAM용 고유전율박막 캐퍼시터의 하부전극 및 Node 구조개발
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12251550
- Title/Author
- 차세대 초고집적 DRAM 및 FeRAM용 고유전율박막 캐퍼시터의 하부전극 및 Node 구조개발 / 구준모 김지영 공저
- Publish Info
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2001.
- Material Info
- pp. 26-32
- Added Entry-Personal Name
- 구준모 김지영
- Host Item Entry
- 재료마당 : Vol.14 No.6 2001 2001, 10
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60016984
MARC
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