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차세대 초고집적 DRAM 및 FeRAM용 고유전율박막 캐퍼시터의 하부전극 및 Node 구조개발
차세대 초고집적 DRAM 및 FeRAM용 고유전율박막 캐퍼시터의 하부전극 및 Node 구조개발 / 구준모...
차세대 초고집적 DRAM 및 FeRAM용 고유전율박막 캐퍼시터의 하부전극 및 Node 구조개발

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12251550
서명/저자  
차세대 초고집적 DRAM 및 FeRAM용 고유전율박막 캐퍼시터의 하부전극 및 Node 구조개발 / 구준모 김지영 공저
발행사항  
서울 : 대한금속.재료학회, 2001.
형태사항  
pp. 26-32
키워드  
초고 집적 DRAM FERAM용 고유 하부 전극 NODE 구조개
기타저자  
구준모 김지영
기본자료저록  
재료마당 : Vol.14 No.6 2001 2001, 10
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60016984

MARC

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