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 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

다공성 실리콘위에 rf- 스퍼터링법으로 증착된 ITO 박막의 구조적 물리적 특성 / 홍광표,권덕렬,박현아 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2003.

형태사항  

pp. 355-361

키워드  

다공성 실리콘 RF 스퍼터링 ITO 박막 구조 물리적

기타저자  

홍광표,권덕렬,박현아

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.41 No.6 2003 2003, 06

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Control Number  

kjul:60016776