자료유형  

 기사

ISSN  

12251550

서명/저자  

차세대 0.1㎛ 이하의 MOSFET 반도체 소자용 극박막 게이트 절연박 / 황현상 저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2000.

형태사항  

pp. 34-42

키워드  

0.1㎛ 이하 MOSFET 반도체 소자 게이트 절연

기타저자  

황현상

기본자료저록  

재료마당 : Vol.13 No.4 2000 2000, 07

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Control Number  

kjul:60016687