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Top Ingection 방긱의 ALD 장비를 이용한 Al₂O₃막의 증착에 관한 연구
Top Ingection 방긱의 ALD 장비를 이용한 Al₂O₃막의 증착에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 02533847
- 서명/저자
- Top Ingection 방긱의 ALD 장비를 이용한 Al₂O₃막의 증착에 관한 연구 / 김재범,오기영,이종무 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 1001-1006
- 기타저자
- 김재범,오기영,이종무
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60016568
MARC
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■245 ▼aTop Ingection 방긱의 ALD 장비를 이용한 Al₂O₃막의 증착에 관한 연구▼d김재범,오기영,이종무 공저
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