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정전기력 구동 마이크로 액츄에이터를 이용한 Si 소재 탄성특성의 온도의존성 평가
정전기력 구동 마이크로 액츄에이터를 이용한 Si 소재 탄성특성의 온도의존성 평가
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 02533847
- Title/Author
- 정전기력 구동 마이크로 액츄에이터를 이용한 Si 소재 탄성특성의 온도의존성 평가 / 정성훈,이세호,정증현 공저
- Publish Info
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2002.
- Material Info
- pp. 897-902
- Added Entry-Personal Name
- 정성훈,이세호,정증현
- Host Item Entry
- 대한금속.재료학회지 : Vol.40 No.8 2002 2002, 08
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60016531
MARC
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