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Ti Buffer Layer 를 갖는 TiN 박막의 합성과 특성 분석에 관한 연구
Ti Buffer Layer 를 갖는 TiN 박막의 합성과 특성 분석에 관한 연구 / G.S.Kim,S.Y.Lee,J.G.Han ...
Ti Buffer Layer 를 갖는 TiN 박막의 합성과 특성 분석에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
02533847
서명/저자  
Ti Buffer Layer 를 갖는 TiN 박막의 합성과 특성 분석에 관한 연구 / G.S.Kim,S.Y.Lee,J.G.Han 공저
발행사항  
서울 : 대한금속.재료학회, 2002.
형태사항  
pp. 655-660
키워드  
BUFFER LAYER 박막 합성 분석
기타저자  
G.S.Kim,S.Y.Lee,J.G.Han
기본자료저록  
대한금속.재료학회지 : Vol.40 No.6 2002 2002, 06
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60016495

MARC

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