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 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

방사광을 이용한 전반사 형광 X선 분석시 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 대한 배경강도 의존성 연구 / 허병국,이희석,신남수 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2002.

형태사항  

pp. 545-549

키워드  

방사광 이용 전반사 형광 X선 분석 실리콘 웨이퍼 결정 대한 배경 강도 의존성

기타저자  

허병국,이희석,신남수

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.40 No.5 2002 2002, 05

모체레코드  

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Control Number  

kjul:60016463