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ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 대기압 저온 플라스마 토치에 의한 식각
ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 대기압 저온 플라스마 토치에 의한 식각
상세정보
MARC
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■245 ▼aITO(Indium Tin Oxide) 박막의 대기압 저온 플라스마 토치에 의한 식각▼d이봉주 저
■260 ▼a서울▼b대한금속.재료학회▼c2002.
■300 ▼app. 458-460
■653 ▼aITOINDIUM▼aOXIDE▼a박막▼a대기압▼a저온▼a토치▼a식각
■700 ▼a이봉주
■773 ▼t대한금속.재료학회지▼gVol.40 No.4 2002▼d2002, 04
■SIS ▼aS009137▼b60013425▼h8▼s2


