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ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 대기압 저온 플라스마 토치에 의한 식각
ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 대기압 저온 플라스마 토치에 의한 식각
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 02533847
- Title/Author
- ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 대기압 저온 플라스마 토치에 의한 식각 / 이봉주 저
- Publish Info
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2002.
- Material Info
- pp. 458-460
- Added Entry-Personal Name
- 이봉주
- Host Item Entry
- 대한금속.재료학회지 : Vol.40 No.4 2002 2002, 04
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60016441
MARC
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