자료유형  

 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

중성자 조사에 의해서 생성된 FZ 실리콘 웨이퍼 내의 점결함 및 저항 변화에 관한 연구 / 이운섭,류건걸 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2002.

형태사항  

pp. 340-344

키워드  

중성자 조사 의해 생성 FZ 실리콘 웨이퍼 내의 저항 변화

기타저자  

이운섭,류건걸

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.40 No.3 2002 2002, 03

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Control Number  

kjul:60016410