자료유형  

 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

웨이퍼용 CVD 다이아몬드 후막의 균열발생 제어를 위한 역학적 해석 / 정증현, 이소윤, 권동일 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2001.

형태사항  

pp. 974-982

키워드  

웨이퍼 CVD 다이아몬드 균열 발생 제어 위한 역학적

기타저자  

정증현, 이소윤, 권동일

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.39 No.9 2001 2001, 09

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Control Number  

kjul:60016117