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 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면위의 Cr 및 Zn 불순물 제거 / 이승욱, 이재갑, 이종무 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2001.

형태사항  

pp. 334-339

키워드  

리모트 수소 이용 표면 위의 CR ZN 불순

기타저자  

이승욱, 이재갑, 이종무

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.39 No.3 2001 2001, 03

모체레코드  

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Control Number  

kjul:60014918