자료유형  

 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

미세 전기기계 시스템용 알루미늄 박막의 탄성계수 및 항복강도 평가 / 손동일, 주영창, 권동일 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2001.

형태사항  

pp. 274-281

키워드  

미세 전기 기계 시스템 알루미늄 박막 탄성계수 항복 강도 평가

기타저자  

손동일, 주영창, 권동일

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.39 No.3 2001 2001, 03

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Control Number  

kjul:60014901