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D.C. 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 MoS₂-Ti 박막의 윤활특성에 관한 연구
D.C. 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 MoS₂-Ti 박막의 윤활특성에 관한 연구
Detailed Information
MARC
008030718s2000 ULKa a KOR■022 ▼a02533847
■245 ▼aD.C. 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 MoS₂-Ti 박막의 윤활특성에 관한 연구▼d안영환, 김선규 공저
■260 ▼a서울▼b대한금속.재료학회▼c2000.
■300 ▼app. 1652-1656
■653 ▼aD.C▼a스퍼터링▼a제조▼aMOS₂TI▼a박막▼a윤활
■700 ▼a안영환, 김선규
■773 ▼t대한금속.재료학회지▼gVol.38 No.12 2000▼d2000, 12
■SIS ▼aS009121▼b60013425▼h8▼s2


