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PZT 박막의 선택적 핵생성을 위한 하부전극의 이온손상 효과
PZT 박막의 선택적 핵생성을 위한 하부전극의 이온손상 효과
상세정보
MARC
008030716s2000 ULKa a KOR■022 ▼a02533847
■245 ▼aPZT 박막의 선택적 핵생성을 위한 하부전극의 이온손상 효과▼d박응철, 이장식, 박정호 공저
■260 ▼a서울▼b대한금속.재료학회▼c2000.
■300 ▼app. 1126-1129
■653 ▼aPZT▼a박막▼a선택▼a위한▼a하부▼a이온▼a손상▼a효과
■700 ▼a박응철, 이장식, 박정호
■773 ▼t대한금속.재료학회지▼gVol.38 No.8 2000▼d2000, 08
■SIS ▼aS009117▼b60013425▼h8▼s2


