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 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

핵생성 계면 제어에 의한 LPCVD 비정질 Si 박막의 고상결정화 / 황의훈, 정새진, 문용성 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2000.

형태사항  

pp. 935-938

키워드  

계면 제어 LPCVD 비정질 박막 고상 결정화

기타저자  

황의훈, 정새진, 문용성

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.38 No.7 2000 2000, 07

모체레코드  

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Control Number  

kjul:60014527