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Applications of Plasma Processes to VLSI Technology
Applications of Plasma Processes to VLSI Technology
상세정보
- 자료유형
- 단행본
- ISBN
- 0471869600
- KDC
- 569.3-3
- 청구기호
- 569.3 T136a
- 저자명
- Sugano, Takuo.
- 서명/저자
- Applications of Plasma Processes to VLSI Technology / Takuo Sugano.
- 발행사항
- New York : John Wiley and Sons, 1985.
- 형태사항
- 394 p. ; 23 cm.
- 가격
- 6500
- Control Number
- kjul:50008612
MARC
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