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SnO2 박막을 이용한 64M-DRAM용 Ta2O5 박막 캐패시터의 유전특성에 관한 연구
SnO2 박막을 이용한 64M-DRAM용 Ta2O5 박막 캐패시터의 유전특성에 관한 연구
상세정보
MARC
008010824s1993 ggk 000 kor■090 ▼a569.2▼b김78s
■1001 ▼a김진석
■24510▼aSnO2 박막을 이용한 64M-DRAM용 Ta2O5 박막 캐패시터의 유전특성에 관한 연구▼d김진석 저.
■260 ▼a경기▼b수원대학교 대학원▼c1993.
■300 ▼aix, 112 p.▼c26 cm.
■5020 ▼a학위논문(석사)▼b수원대학교 대학원▼c전자재료공학과▼d1993.
■9500 ▼b5600
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