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Thermal CVD법을 이용한 4H-Sic 동종박막성장에 관한 연구
Thermal CVD법을 이용한 4H-Sic 동종박막성장에 관한 연구
상세정보
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008010905s2000 ulk 000 kor■090 ▼a420▼b박76t
■1001 ▼a박주훈
■24510▼aThermal CVD법을 이용한 4H-Sic 동종박막성장에 관한 연구▼d박주훈 저.
■260 ▼a서울▼b東新大學校 大學院▼c2000.
■300 ▼a53 p.▼c26 cm.
■5020 ▼a석사학위논문▼b동신대학교 대학원▼c물리학과▼d2000.
■9501 ▼a비매품


