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SiH2Cl2/SiH4/H2를 이용한 비정질 실리콘박막의 전기적 및 광학적 특성 연구
SiH2Cl2/SiH4/H2를 이용한 비정질 실리콘박막의 전기적 및 광학적 특성 연구
상세정보
MARC
008010831s1994 ulka 000a kor■035 ▼aKRIC01648136
■090 ▼a461.7▼b추38s
■1001 ▼a추미경
■24510▼aSiH2Cl2/SiH4/H2를 이용한 비정질 실리콘박막의 전기적 및 광학적 특성 연구▼d秋美京 著.
■260 ▼a서울▼b慶熙大學校 大學院▼c1994.
■300 ▼a85 p.▼b삽도▼c26 cm.
■5020 ▼a석사학위논문▼b경희대학교 대학원▼c물리학과 고체물리실험▼d1994.
■504 ▼a권말 참고문헌 및 영문초록 수록.
■650 4▼a원소광물
■653 ▼a비정질실리콘▼a실리콘▼aSiH2Cl2▼aSiH4▼aH2
■9500 ▼a비매품


