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SiH2Cl2/SiH4/H2를 이용한 비정질 실리콘박막의 전기적 및 광학적 특성 연구
SiH2Cl2/SiH4/H2를 이용한 비정질 실리콘박막의 전기적 및 광학적 특성 연구
Detailed Information
- Material Type
- 학위논문
- Callnumber
- 461.7 추38s
- Author
- 추미경
- Title/Author
- SiH2Cl2/SiH4/H2를 이용한 비정질 실리콘박막의 전기적 및 광학적 특성 연구 / 秋美京 著.
- Publish Info
- 서울 : 慶熙大學校 大學院, 1994.
- Material Info
- 85 p. : 삽도 ; 26 cm.
- 학위논문주기
- 석사학위논문 - 경희대학교 대학원 : 물리학과 고체물리실험, 1994.
- 서지주기
- 권말 참고문헌 및 영문초록 수록.
- Subject Added Entry-Topical Term
- 원소광물
- Price Info
- 비매품
- Control Number
- kjul:40007902
MARC
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