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SiH2CL2를 이용한 n형 미세결정질 실리콘의 특성 및 비정질 실리콘 소자에의 응용연구
SiH2CL2를 이용한 n형 미세결정질 실리콘의 특성 및 비정질 실리콘 소자에의 응용연구
상세정보
MARC
008010828s1995 ulka 000a kor■035 ▼aKRIC01559340
■090 ▼a461.7▼b변73s
■1001 ▼a변재성
■24510▼aSiH2CL2를 이용한 n형 미세결정질 실리콘의 특성 및 비정질 실리콘 소자에의 응용연구▼d邊宰成 著.
■260 ▼a서울▼b慶熙大學校 大學院▼c1995.
■300 ▼a64 p.▼b삽도▼c26 cm.
■5020 ▼a석사학위논문▼b경희대학교▼c물리학과 반도체물리학▼d1995.
■504 ▼a권말 참고문헌 및 영문초록 수록.
■650 4▼a광물학▼x원소광물
■653 ▼a미세결정질 실리콘▼a실리콘▼a비정질 실리콘▼a실리콘소자▼aSiH2CL2
■9500 ▼a비매품


