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NPCVD法에 의한 Tin薄膜 蒸着에 關한 硏究
NPCVD法에 의한 Tin薄膜 蒸着에 關한 硏究
상세정보
MARC
008010827s1989 ulk 000a kor■035 ▼aKRIC01556505
■090 ▼a436▼b김75n
■1001 ▼a김종범
■24510▼aNPCVD法에 의한 Tin薄膜 蒸着에 關한 硏究▼d金宗範 著.
■260 ▼a서울▼b慶熙大學校 大學院▼c1989.
■300 ▼a66 p▼c26 cm.
■5020 ▼a박사학위논문▼b경희대학교▼c공학▼d1989.
■504 ▼a권말 참고문헌 및 영문초록 수록.
■650 4▼a화학
■653 ▼aNPCVD▼aNPCVD법▼aTIN박막
■9500 ▼a비매품


