자료유형  

 학위논문

KDC  

561.8-3

청구기호  

561.8 김82m

저자명  

김창일

서명/저자  

M2O 가스 內에서 熱酸化한 oxynitride膜의 特性 / 金昌日 著.

발행사항  

서울 : 中央大學校 大學院, 1992.

형태사항  

xi,96 p. ; 26 cm.

학위논문주기  

박사학위논문중앙대학교 대학원 : 전기공학과 전기재료, 1992

서지주기  

참고문헌 : p.83-93

일반주제명  

전기재료

키워드  

M2O 가스 열산화 oxynitride막 특성

가격  

4000

Control Number  

kjul:40003649