자료유형  

 학위논문

청구기호  

561.84 홍82즈

저자명  

홍찬희

서명/저자  

증착온도가 Si2H6 LPCVD 실리콘 박막의 구조적 전기적 특성에 미치는 影響 / 홍찬희 저.

발행사항  

서울 : 연세대학교 대학원, 1992.

형태사항  

vii,102 p. ; 26 cm.

학위논문주기  

박사학위논문 - 연세대학교 대학원 : 전기공학과, 1992

일반주제명  

전기공학 전기회로,계측,재료

키워드  

증착온도 실리콘박막

가격  

4000

Control Number  

kjul:40001083