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도서명 :
반도체 / 도핑되지 않은 비정질 실리
콘의 고밀도 Cl2/HBr/O2 플라즈마에 의한 식각 시 나칭 효과
저 자 :
유석빈(Seok Bin Yu)
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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