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도서명 :
Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용
한 (Ba0.6Sr0.4)TiO3 박막의 식각 특성
저 자 :
강필승 ( Pil Seung Kang )
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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