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도서명 :
(hfac)Cu(1,5-DMCOD)
전구체를 이용한 MOCVD Cu 증착 특성에 미치는 환원기체와 첨가제의 영향에 관한 연구
저 자 :
변인재
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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