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  • 도서명 : 수소 환원기체와 (hfac)Cu(3,
    3-dimethyl-1-butene) 증착원을 이용한 Pulsed MOCVD로 Cu seed layer 증착 특성에 미치는 영향에 관한 연구
  • 저 자 : 박재범
  • 청구기호 :
  • 소장처 :참고자료실(관광학관2층)
  • 대출요구사항 :