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도서명 :
Deposition and Chara
cterization of Low-dielectric-Constant SiOC(-H) Thin Films for Interlayer Dielectrics in Multilevel Interconnections
저 자 :
Rangaswamy Navamathavan
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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