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도서명 :
반응성 스퍼터링법으로 증착된 CoNx
중간층을 이용한 (100)Si 기판 위에서의 에피택션 CoSi2 성장 연구
저 자 :
이승렬, 김선일, 안병태
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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