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파릴렌 막이 증착된 봉입형 압력센서의 제작 및 그 특성
파릴렌 막이 증착된 봉입형 압력센서의 제작 및 그 특성
김우정, 조용수, 김홍균, | 대한전자공학회 | 2003 ,
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