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RTO 공정을 이용한 다공질 실리콘막의 저온 산화 및 특성분석
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박정용, 이종현, | 대한전자공학회 | 2003 ,
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다공질 실리콘 산화막 Air-Bridge 기판 위에 제작된 MMIC용 공면 전송선
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박정용, 이종현, | 대한전자공학회 | 2003 ,
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