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반도체 ; CMOS 소자를 위한 NiSi의 Surface Damage 의존성
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지희환 ( Hee Hwan Ji ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
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홍순도, 309.112-홍56베 | 서교 | 2011 309.112-홍56베,
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