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복잡한 ULSI 배선 구조 생성을 위한 토포그래피 모델링 및 시뮬레이션
복잡한 ULSI 배선 구조 생성을 위한 토포그래피 모델링 및 시뮬레이션
권오섭, 윤석인, 김윤태, | 대한전자공학회 | 2002 ,
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