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반도체 : PAMBE 를 이용하여 성장된 AlN 박막의 미세구조에 미치는 Al / N 비율영향
반도체 : PAMBE 를 이용하여 성장된 AlN 박막의 미세구조에 미치는 Al / N 비율영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 : PAMBE 를 이용하여 성장된 AlN 박막의 미세구조에 미치는 Al / N 비율영향 / 홍성의(Sung Ui Hong) , 한기평(Gee Pyeong Han) , 백문철(Mun Cheol Paek) , 조경익(Kyung Ik Cho) , 윤순길(Soon Gil Yoon) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 972-978
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234842
MARC
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