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표면 미세가공에서 Al 전극 및 Al 미세 구조물 제작을 위한 습식 식각 공정
표면 미세가공에서 Al 전극 및 Al 미세 구조물 제작을 위한 습식 식각 공정
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12255475
- 저자명
- 김성운
- 서명/저자
- 표면 미세가공에서 Al 전극 및 Al 미세 구조물 제작을 위한 습식 식각 공정 / 김성운 , 백승준, 이승기, 조동일 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국센서학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 224-232
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 백승준, 이승기, 조동일
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60219648
MARC
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■773 ▼t센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society▼g제9권 제3호 (2000년 5월)▼d2000, 05
■856 ▼uhttp://www.sensors.or.kr
■SIS ▼aS019030▼b60072478▼h8▼s2▼fP
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