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전자빔 프로젝션 기술을 이용한 나노패터닝 기술 동향
전자빔 프로젝션 기술을 이용한 나노패터닝 기술 동향
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267937
- 저자명
- 김기범
- 서명/저자
- 전자빔 프로젝션 기술을 이용한 나노패터닝 기술 동향 / 김기범 저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 11-16
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기본자료저록
- 전기전자재료(Bulletin of the Korean Institute of Electrical & Electron : 제17권 제6호 (2004. 6) 2004, 06
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60219487
MARC
008190605s2004 ulk aa kor■022 ▼a12267937
■1001 ▼a김기범
■24510▼a전자빔 프로젝션 기술을 이용한 나노패터닝 기술 동향▼d김기범 저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 11-16
■500 ▼a권말 참고문헌 수록
■773 ▼t전기전자재료(Bulletin of the Korean Institute of Electrical & Electron▼g제17권 제6호 (2004. 6)▼d2004, 06
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014406▼b60055315▼h8▼s1▼fP
