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Pulsed ECR PECVD를 이용한 SiO_x박막의 성장 및 특성분석
Pulsed ECR PECVD를 이용한 SiO_x박막의 성장 및 특성분석
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 이주현
- 서명/저자
- Pulsed ECR PECVD를 이용한 SiO_x박막의 성장 및 특성분석 / 이주현 , 정일채, 채상훈, 서영준, 이영백 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 212-217
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 정일채, 채상훈, 서영준, 이영백
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218989
MARC
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■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 10, No. 3, (2000 March)▼d2000, 03
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■SIS ▼aS014183▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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