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 기사

ISSN  

12255475

저자명  

정귀상

서명/저자  

CVD에 의한 M/NEMS용 다결정 3C-SiC 박막 성장 / 정귀상 , 김강산, 정준호 공저

발행사항  

서울 : 한국센서학회, 2007.

형태사항  

pp. 85-90

주기사항  

권말 참고문헌 있음.

기타저자  

김강산, 정준호

기본자료저록  

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society : 제16권 제2호 (2007년 3월) 2007, 03

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Control Number  

kjul:60216595