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 기사

ISSN  

12255475

저자명  

정귀상

서명/저자  

마그네트론 RIE를 이용한 M/NEMS용 다결정 3C-Sic식각연구 / 정귀상 , 온창민, 남창우 공저

발행사항  

서울 : 한국센서학회, 2007.

형태사항  

pp. 197-201

주기사항  

권말 참고문헌 있음.

기타저자  

온창민, 남창우

기본자료저록  

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society : 제16권 제3호 (2007년 5월) 2007, 05

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Control Number  

kjul:60216519