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N-type 기판에서 PAI에 의한 Nickel-Silicide의 열안정성 개선
N-type 기판에서 PAI에 의한 Nickel-Silicide의 열안정성 개선
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- Author
- 윤장근
- Title/Author
- N-type 기판에서 PAI에 의한 Nickel-Silicide의 열안정성 개선 / 윤장근 ; 지희환, 오순영, 배미숙, 황빈봉, 박영호, 왕진석, 이희덕 공저
- Publish Info
- 서울 : 대한전자공학회, 2003.
- Material Info
- pp. 675-678
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 지희환, 오순영, 배미숙, 황빈봉, 박영호, 왕진석, 이희덕
- Host Item Entry
- 대한전자공학회 종합학술대회 논문집 : 2003년도 하계 II 제26권 제1호 2003, 07
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
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MARC
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