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GaN 웨이퍼의 다이싱을 위한 스크라이빙 머신의 개발
GaN 웨이퍼의 다이싱을 위한 스크라이빙 머신의 개발
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12259845
- 저자명
- 차영엽
- 서명/저자
- GaN 웨이퍼의 다이싱을 위한 스크라이빙 머신의 개발 / 차영엽 , 고경용 공저
- 발행사항
- 경기 : 제어.자동화.시스템공학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 419-424
- 주기사항
- 권말 참고문헌 있음
- 기타저자
- 고경용
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60199112
MARC
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■SIS ▼aS014568▼b60055376▼h8▼s2▼fP
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