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 기사

ISSN  

12296376

저자명  

선복근

서명/저자  

매엽식 세정장비의 동작순서 시뮬레이션 및 웨이퍼 처리량 측정에 관한 연구 / 선복근 , 한광록 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2005.

형태사항  

pp. 31-40

기타저자  

한광록

기본자료저록  

전자공학회논문지CI(Computer and Information) : 컴퓨터 : 제42권 제5호 (2005 9) 2005, 09

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kjul:60126116